外觀、 氟化銨（NH4F）、 氟硅酸銨[(NH4)2SiF6]、 色度、 pH（10g/L溶液,25℃）、 氯化物（以Cl計）、 硝酸鹽（以NO3計）、 磷酸鹽（以PO4計）、 硫酸鹽（以SO4計）、 鋁（Al）、 砷（As）、 硼（B）、 鋇（Ba）、 鈣（Ca）、 鎘（Cd）、 鉻（Cr）、 銅（Cu）、 鐵（Fe）、 鉀（K）、 鋰（Li）、 鎂（Mg）、 錳（Mn）、 鈉（Na）、 鎳（Ni）、 鉛（Pb）、 銻（Sb）、 錫（Sn）、 鈦（Ti）、 釩（V）、 鋅（Zn）、 顆粒；

高純氟化銨溶液為無色葉狀或針狀結晶，升華后得六角形柱狀結晶。易潮解。 易溶于水，水溶液呈酸性。可溶于醇，不溶于丙酮和液氨；主要應用于集成電路和超大規模集成電路芯片的清洗、蝕刻等行業。
健明迪檢測可以提供高純氟化銨溶液檢測服務，報告具有CMA和CNAS資質。

GB/T 30901-2014 高純氟化銨溶液
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GB/T 8170 數值修約規則與極限數值的表示和判定
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GB/T 23770-2009 液體無機化工產品 色度測定通用方法
HG/T3696.1 無機化工產品 化學分析用標準溶液、制劑及制品的制備 第1部分:標準滴定溶液的制備
HG/T3696.2 無機化工產品 化學分析用標準溶液、制劑及制品的制備 第2部分:雜質標準溶液的制備
HG/T3696.3 無機化工產品 化學分析用標準溶液、制劑及制品的制備 第3部分:制劑及制品的制備